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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 三氟化磷（PF3） | |
| 化學式 | PF3 |
| 中文名稱 | 三氟化磷 |
| 英文名稱 | Phosphorus Trifluoride |
| CAS No. | 7783-55-3 |
| 分子量 | 87.969 |
| 充裝量 | |
| 應用 | 發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.9% |
百科：
三氟化磷是一種無機化合物，其化學式為PF3，在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體，液態(tài)時為無色透明液體，空氣中不太發(fā)煙，相當穩(wěn)定，加熱時與氫反應生成PH3，能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解�？扇苡谝掖�。除在高溫外，不腐蝕玻璃。
