艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 三氯氫硅（SiHCl3 ）TCS | |
| 化學式 | SiHCl3 |
| 中文名稱 | 三氯氫硅 |
| 英文名稱 | Trichlorosilane |
| CAS No. | 10025-78-2 |
| 分子量 | 135.43 |
| 充裝系數 | 250kg；20000kg |
| 應用 | 多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。 |
| 產品規(guī)格 | ≥99.95% |
百科：
又稱硅氯仿，TCS。甲硅烷的三氯代物。為一種易流動的無色液體，密度1.34克/厘米³ ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。
三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2．HCl和Cl2。
