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艾佩科（上海）氣體有限公司
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| 磷烷（PH3） | |
| 化學(xué)式 | PH3 |
| 中文名稱 | 磷烷 |
| 英文名稱 | Phosphine |
| CAS No. | 7803-51-2 |
| 分子量 | 34 |
| 充裝系數(shù) | 0.2kg/L (氣瓶公稱工作壓力為15MPa時(shí)) |
| 應(yīng)用 | 主要用于硅烷外延的摻雜劑，磷擴(kuò)散的雜質(zhì)源。同時(shí)也用于多晶硅化學(xué)氣相淀積、外延GaP材料、離子注入工藝、化合物半導(dǎo)體的MOCVD工藝、磷硅玻璃（PSG）鈍化膜制備等工藝中。 |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.9997% |
百科：
磷烷具有五配位磷的有機(jī)化合物，穩(wěn)定的磷烷多為氟原子的衍生物或環(huán)狀磷酸酯。
無(wú)色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。
電子氣中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時(shí) 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。
PH3，易燃、易爆、劇毒，其毒性 數(shù)為：PEL/TLV 0.3ppm，STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，屬劇毒危害品。
